| 发明名称 |
Evacuation system with exhaust gas cleaning and operating process for it |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL117775(D0) |
申请公布日期 |
1996.08.04 |
| 申请号 |
IL19960117775 |
申请日期 |
1996.04.02 |
| 申请人 |
EBARA GERMANY GMBH |
发明人 |
HAUFF ALFRED DR;KINZIG VOLKER |
| 分类号 |
B01D53/34;B01D53/00;B01D53/46;B01D53/68;B01D53/81;(IPC1-7):B01D |
主分类号 |
B01D53/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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