真空电弧钛泵

摘要

一种真空电弧钛泵，利用钛靶的真空电弧放电蒸发钛材来吸附气体，本实用新型的优点是蒸发源钛材贮存量大，工作寿命长，钛升华率稳定、可调，抽速大，同时对惰性气体有较大的抽速，无公害，结构简单。

主权项

1.一种真空电弧钛泵，包括泵体，钛电弧蒸发源，引弧杆，钛粒子吸附件及钛粒子遮挡板。其特征在于钛电弧蒸发源与泵体法兰通过绝缘及密封件并密封；引弧杆设置在钛靶前面；钛粒子吸附件固定在大法兰盘上并通过水咀冷却，大法兰盘与泵体用螺栓连接；钛粒子遮挡板固定在抽气孔法兰上。