发明名称 用以衡量长晶重量之装置
摘要 本发明所揭示之装置系用以测量一生长晶体之重量,该生长晶体系从它的熔体中被牵引出。一已知重量之绳子之下端部系被连接至该生长晶体,同时,该绳子之一上端部系被连接至一卷绳单元之鼓状部。该卷绳单元包括有一驱动器系被联结至该鼓状部,以便能够转动该鼓状部,并能够用以卷绕其上之绳子,其且该包括有鼓状部和驱动器之卷绳单元的重量系为已知。至少一重量传感器系被联结至该卷绳单元上,以便能够测量作用于该卷绳单元上之重力大小。藉此,该生长晶体之重量系藉由将所测出作用于该卷绳单元上之重力大小减去该绳子和卷绳单元之已知重量总合而能够被决定。
申请公布号 TW290709 申请公布日期 1996.11.11
申请号 TW085103107 申请日期 1996.03.15
申请人 大仓电气股份有限公司 发明人 冈敏;野口义隆;森村利昭
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种用以测量一生长晶体重量之装置,该生长晶体系从它的熔体中被牵引出,该装置包括有一已知重量之绳子具有一下端部系被连接至该生长晶体,一已知重量之卷绳单元包括有一鼓状部系被连接至该绳子之一上端部,以及一驱动器系被联结至该鼓状部,以便能够转动该鼓状部,而用以卷绕其上之绳子,以及一测重机构系如此被联结至该卷绳单元上,以便能够测量作用于该卷绳单元上之重力大小,藉此,该生长晶体之重量系藉由将所测出作用于该卷绳单元上之重力大小减去该绳子和卷绳单元之已知重量总合而能够被决定。2.如申请专利范围第1项中所述之装置,其中该卷绳单元更进一步包括有一保持平台系保持该鼓状部与该驱动器,并且该测重机构系从下方支承该保持平台。3.如申请专利范围第2项中所述之装置,其中该装置更进一步包括有一装配平台具有一装配表面系面对该保持平台之底面并具有一穿孔,其中该绳子之悬挂部分系垂直延伸并且往复运动,并且该测重机构包括有多个重量传感器系装设于该装配平板上,以便能够将该保持平台支承于该等位置处,以致于该绳子系被对齐于该装配平台之穿孔的中心处。4.如申请专利范围第3项中所述之装置,其中该装置更进一步包括有多个具有与该等重量传感器相同数目之具有一球面部分的插入部,该每一插入部系设置于该相对应的一重量传感器与该保持平台的底面之间,以致于该每一插入部之球面部分系与该重量传感器或该保持平台之底面保持可滑动式接触。5.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中与该等重量传感器具有相同数目之径向沟槽系沿着该绳子的牵引方向与该保持平台的底面之交叉点的径向而被形成于该保持平台之底面上,并且该重量传感器之顶端或该插入部之球面部分系设置于一相对应的径向沟槽上。6.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中与该等重量传感器具有相同数目之负载单元系被形成于该保持平台之底面上,该每一负载单元包括有一水平转动轴系藉由该保持平台所装载,以便该水平转轴能够针对一与该绳子的牵引方向和该保持平台的底面之交叉点所构成的圆周相切之轴线而转动,该每一负载单元并包括有一转动块系一体固设于该转动轴之下半部,并且该重量传感器之顶端或该插入部之球面部分系与该负载单元之转动块可滑动式接触。7.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中该装配平台上之重量传感器的位置或该保持平台上之该等负载单元的位置系被制成为可调式。8.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中一通道抑制器系被固设于该保持平台和/或该装配平台上,以便能够将该保持平台与该装配平台之间的空间递减量抑制于一定大小之范围内,以及一弹性元件系被连接于该保持平台与该装配平台之间,该弹性元件系可被压缩一长度,该长度系大于该一定大小。9.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中一通道抑制器系被固设于该保持平台和/或该装配平台上,以便能够将该保持平台与该装配平台之间的空间递减量抑制于一定大小之范围内,并且与该等重量传感器具有相同数目之延伸杠杆之一内端部系藉由该等从该保持平台之顶面处向上直立的短柱而以枢接式被支承,藉此方式,以致于该每一延伸杠杆系水平延伸超出该保持平台之边缘,并且该每一延伸杠杆之外端部系与一相对应的重量传感器啮合,以及一弹性元件系被连接于该延伸杠杆的中间部分与该保持平台之间,该弹性元件系可被压缩一长度,该长度系大于该一定大小。10.如申请专利范围第3或4项中所述之装置,其中,一中间元件系被设置于该每一重量传感器的顶端上,以致于作用于该保持平台上之重力系经由该中间元件而被施加于该重量传感器上,并且该中间元件系藉由一限制运动单元所保持,该限制运动单元系被装设于该装配平板上,以便以容许该中间元件只能够大致延着垂直方向运动。图示简单说明:图1系为一图解断面图,图中显示出根据本发明之可用以衡量一生长晶体重量之装置的一实施例之结构;图2中显示出本发明之装置的一实施例,其中,一藉由多个重量传感器所支承之保持平台系形成有多个沟槽。图3中显示出本发明之另一实施例,其中,一个或是多个负载单元系被连接至该保持平台;图4中显示出本发明之一不同的实施例,其中本发明系使用至少一通道抑制器;图5中说明出一限制运动单元系于本发明之装置中的动作方式;图6系为一示意立体图,图中显示出本发明之装置中各种元件的组合图;图7系为一种用以生产晶体之机器的方块图,其中该机器系使用本发明之装置。图8系为一图表,图中显示出藉由使用本发明之装置所实施之一测试结果;图9中显示出一种用以生产晶体之传统的导线型式之机器;图10中显示出一种用以衡量一生长晶体重量之传统装置的操作原理;图11系为一图表,图中显示出藉由使用如图10中所示之传
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