氦泄漏侦测器

摘要

【目的】在于随着总泄漏，大量的氦混进油旋转真空泵的油中时，使其可迅速地降低质量分析部的基底值，有效地恢复泄漏试验者。【构成】在质量分析部ANAL检测到超过临界值之氦测定值时，微电脑组件4将其邻定为总泄漏，并控制装在镇气口21的电磁阀GBV，使其保持一定时间的开启。这时，经由镇气口21引进大气于RP2内，搅拌氦的气泡，迅速地将其从RP2排出。因此可解决产生总泄漏后泄漏试验时，从RP2再放出的氦所引起质量分析部ANAL中基底值上升之不顺利问题。【选择图】图1

主权项

1.一种氦泄漏侦测器,系由:只能检测氦之质量分析部;可将该质量分析部与被试体一起真空排气之主泵;以及当作该主泵的后援泵功能之油旋转真空泵而构成其特征为;上述油旋转真空泵系采用具备镇气口者,并在该镇气口设可选择性的开闭之电磁阀,同时设有当上述质量分析部所测定的氦之测定値超过预先设定的临界値时,可控制上述电磁阀,使其保持一定时间开启之控制手段者。图示简单说明:图1系本发明一实施例之管路图。图2系同实施例所使用油旋转真空泵之概略断面图。图3系习知例之对应于图1之管路图。图4系与图3对应以说明泄漏试验之一般程序图。图5系与图3对应以说明泄漏试验之一般程序图。