发明名称 Halbleitereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE4228679(C2) 申请公布日期 1997.01.09
申请号 DE19924228679 申请日期 1992.08.28
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MOTONAMI, KAORU, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/28;H01L21/225;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/522;H01L21/822;H01L27/108 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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