| 主权项 |
1.一种热灯丝化学气相沉积系统之外调式自由升降灯丝架机构,其主要系包含有一中空状之腔体,两穿设于腔体中之导电柱,两设于导电柱上之灯丝架,多数个设于腔体上之冷却水导管,一穿置于腔体内部之反应气体导管,多数个设于两灯丝架间之灯丝件,以及一设于该等灯丝件下方之腔体内底面之载物台等主要构件;其特征在于:腔体上方系联设有一可用以调整灯丝件与载物台间之距离的调整装置,该调整装置系包含有一可封闭腔体顶部之基座,一设于基座上方之活动座,两穿设活动座之调整螺杆,及多数个穿设于基座与活动座间之定位导柱,以使得活动座与基座间产生连动关系;另外,基座与活动座间更设有一平台,平台顶面固设多数个螺筒,以及一可同时与该等调整螺杆相啮合之链条等构件,其中,该等螺筒系可与调整螺杆相啮合嵌接,藉使一调整螺杆旋转,其将可经由链条以连动其他调整螺杆进行转动,俾带动平台于调整螺杆上进行上升或下降动作,同时亦使得两导电柱可带动灯丝架及灯丝件于腔体中进行升降动作者。2.依据申请专利范围第1项所述之热灯丝化学气相沉积系统之外调式自由升降灯丝架机构,其中,基座顶面与活动座底面之间更可固设有多数个波纹管者。图示简单说明:第一图所示系习知调整灯丝与载物台间之距离的机构示意图。第二图所示系习知另一调整灯丝与载物台间之距离的机构示意图。第三图所示系本创作一较佳实施例之腔体外部侧视示意图。第四图所示系本创作一较佳实施例之腔体内部示意图。 |
