发明名称 改良聚合接着剂与包封材料接着性之方法
摘要 本发明提供一种改良聚合接着剂与用来包封半导体片之包封材料间之接着性之方法。该方法包括处理聚合接着剂以增加包封材料可粘着位置之数目,因而改良聚合接着剂对包封材料之接着性。该处理包括,例如氧化作用(诸如臭氧氧化)或高温烘焙或电浆灰化。
申请公布号 TW301047 申请公布日期 1997.03.21
申请号 TW082104103 申请日期 1993.05.25
申请人 万国商业机器公司 发明人 史帝芬.福.尔.卡恩;希莱尼.阿契包特;林达.包汀;柯克.狄.皮特森;约翰.杰.利克斯;约翰.杰.拉查二世;罗伯.姆.史密斯
分类号 H01L23/38 主分类号 H01L23/38
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1. 一种改良聚合接着剂和包封材料间接着性之方法,该方法包括以下步骤:提供一种长聚合分子的聚合接着剂;将该聚合接着剂作处理,使接着剂上包封材料可接着位置之数目增加;以及将包封材料施用于至少一部分之该聚合接着剂上,使该包封材料接着于该聚合接着剂上。2. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括令该聚合接着剂行氧化反应。3. 根据申请专利范围第2项之方法,其中该聚合接着剂之氧化反应包括将该聚合接着剂曝露于臭氧中。4.根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括曝露于约10至约10,000ppm (每百万份中之份数)范围之臭氧中。5. 根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括曝露于约90ppm之臭氧中。6. 根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括曝露于臭氧约二分钟至约五小时。7. 根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括于室温下曝露于约50ppm臭氧中历约五小时。8.根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括于室温下曝露于约10,000ppm臭氧中历约二分钟。9. 根据申请专利范围第3项之方法,其中该曝露于臭氧包括于室温下曝露于约90ppm臭氧中历约一小时。10.根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括于约200℃至约350℃之温度范围下烘焙该聚合接着剂。11. 根据申请专利范围第10项之方法,其中该烘焙系在含氧气体存在下发生。12. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括于约220℃之温度下烘焙该聚合接着剂。13. 根据申请专利范围第10项之方法,其中该烘焙为五分钟至约四小时。14. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括于约200℃下烘焙该聚合接着剂约四小时。15. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括于约220℃下烘焙该聚合接着剂约1.5小时。16. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括于约350℃下烘焙该聚合接着剂约五分钟。17. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括该聚合接着剂之电浆灰化。18. 根据申请专利范围第17项之方法,其中该电浆灰化包括于约200瓦特至约1,500瓦特下令该聚合接着剂曝露于约10%至50%氧气中约五至约三十分钟。19. 根据申请专利范围第17项之方法,其中该电浆灰化包括于约300瓦特下令该聚合接着剂曝露于约10%氧气中约10至15分钟。20. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该聚合接着剂包括聚乙烯类物质。21. 根据申请专利范围第20项之方法,其中该聚乙烯类物质包括聚乙烯醇缩丁醛。22. 根据申请专利范围第21项之方法,其中该聚乙烯醇缩丁醛包括酚醛系聚乙烯醇缩丁醛。23. 根据申请专利范围第1项之方法,其中该包封材料包括环氧树脂。24. 根据申请专利范围第23项之方法,其中该环氧树脂包括酚醛环氧树脂。25. 根据申请专利范围第10项之方法,其中该烘焙在含氧气体存在下发生。26. 一种制作半导体片封装之方法,该方法包括以下步骤:提供半导体片;将一种长聚合分子的聚合接着剂施用于该半导体片顶部表面上,该施用之聚合接着剂具有其曝露之顶部表面;将一引导框附于该聚合接着剂之曝露顶部表面上;处理该聚合接着剂,使包封材料可接着位置之数目增加;以及将包封材料施用于至少一部分之该聚合接着剂曝露顶部表面,使该包封材料接着于该聚合接着剂曝露顶部表面上,因而以该包封材料包封该半导体片和该聚合接着剂以及该引导框。27. 根据申请专利范围第26项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括令该聚合接着剂行氧化反应。28. 根据申请专利范围第27项之方法,其中该氧化反应包括令该聚合接着剂曝露于臭氧中。29. 根据申请专利范围第26项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括将该聚合接着剂于约200℃至约350℃下烘焙。30. 根据申请专利范围第26项之方法,其中该聚合接着剂之处理包括该聚合接着剂之电浆灰化。31. 根据申请专利范围第26项之方法,其中该聚合接着剂包括酚醛系聚乙烯醇缩丁醛。32. 根据申请专利范围第26项之方法,其中该包封材料包括酚醛环氧树脂。33. 根据申请专利范围第26项之方法,其更包括以下步骤:在施用该聚合接着剂之后,附上该引导框之前,令该聚合接着剂于约160℃之温度下熟化。34. 一种改良环氧基聚合物和具多可氧化官能度基质间接着性之方法,该方法包括用氧化剂处理该基质,使该多可氧化官能度转化成醇官能度,再令该经处理基质与该环氧基聚合物反应;其中该经处理基质之醇官能度接着至该环氧基聚合物上;该氧化剂包括于0℃至60℃之臭氧;以及该氧化剂包括于约200℃至约350℃温度范围下之氧气。35. 根据申请专利范围第34项之方法,其中该氧化剂包括约2%至约50%浓度下之氧气,使用约200至约1500瓦特历约5至约30分钟。36. 根据申请专利范围第34项之方法,其中该可氧化官能度包括缩醛官能度。图示简单说明:图1为显示半导体片、聚合接着剂和引导框空间关系之分解示意图;图2为显示包封引入片封装(包括图1所示之半导体片、接着剂和引导框)之切开示意图;以及
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