发明名称 Menetelmä puolijohdekiekon suojaamiseksi selektiivisesti kemiallisessa nystytysprosessissa
摘要
申请公布号 FI98668(C) 申请公布日期 1997.07.25
申请号 FI19930004253 申请日期 1993.09.28
申请人 PICOPAK OY, 发明人 AINTILA,AHTI
分类号 H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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