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发明名称 HOGOMAKUNOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2638446(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19930287934 申请日期 1993.11.17
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 OGAWA KAZUFUMI;TAMURA HIDEJI
分类号 H01L21/283;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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