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经营范围
发明名称
PUROOBUSOCHI
摘要
申请公布号
JP2642946(B2)
申请公布日期
1997.08.20
申请号
JP19880122623
申请日期
1988.05.19
申请人
TOKYO EREKUTORON KK
发明人
KARASAWA WATARU
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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