发明名称 PUROOBUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2642946(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19880122623 申请日期 1988.05.19
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 KARASAWA WATARU
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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