| 发明名称 |
ZETSUENGEITOGATAHANDOTAISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2652267(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19900293264 |
申请日期 |
1990.10.29 |
| 申请人 |
HANDOTAI ENERUGII KENKYUSHO KK |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
H01L21/322;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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