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发明名称 PUREENACHOKOSHINOSAKUSEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2662727(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19860063067 申请日期 1986.03.20
申请人 FUJITSU KK 发明人 NAKAJIMA HIROKI
分类号 H01L21/20;H01L21/04;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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