发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE MAGAZINE HOLDER DEVICE
摘要
申请公布号 KR0109735(Y1) 申请公布日期 1997.11.08
申请号 KR19940011985U 申请日期 1994.05.27
申请人 ANAM IND. CO.,LTD 发明人 PARK, MYUNG-SOON;LEE, YOUNG-AE
分类号 H01L23/00;(IPC1-7):H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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