| 主权项 |
1.一种刷洗机台用刷头,适用于具其有用以吸附一晶圆之吸盘及用以安装上述刷洗机台用刷头而将上述刷洗机台用刷头移至上述晶圆上来刷洗上述晶圆之刷臂的刷洗机台,而上述刷洗机台用刷头包括:一套筒,具有一贯穿孔,而于其两端分别形成一第一开口及一第二开口,且于上述第一开口之贯穿孔的内壁设有内凸缘;一顶塞,设置于上述套筒的第二开口,且上述顶塞用以设置于上述刷臂;一刷块,具有一大径部及一小径部串接而一体形成,且上述大径部设于上述套筒之贯穿孔内的内凸缘与上述顶塞之间,并具有移动的空间;一垫片,设于上述刷块的大径部;以及至少一弹簧构件,设于上述垫片与上述顶塞之间,用以施加既定的推力于上述刷块,而使上述小径部部突出上述第一开口,以刷洗上述晶圆。2.如申请专利范围第1项所述的刷洗机台用刷头,其中上述垫片系由硬质材料制成。3.如申请专利范围第2项所述的刷洗机台用刷头,其中上述垫片设有至少一开口,用以容纳受压后的上述刷块的一部份。4.如申请专利范围第2项所述的刷洗机台用刷头,其中上述垫片设有至少一孔,用以容纳受压后的上述刷块的一部份。5.如申请专利范围第2项所述的刷洗机台用刷头,其中上述垫片设有至少一槽,用以容纳受压后的上述刷块的一部份。6.如申请专利范围第2.3.4或5项所述的刷洗机台用刷头,其中上述垫片设有至少一缺口,用以容纳受压后的上述刷块的一部份。7.如申请专利范围第6项所述的刷洗机台用刷头,其中上述弹簧构件为螺旋弹簧。8.如申请专利范围第7项所述的刷洗机台用刷头,其中上述顶塞设有容纳孔,用以容纳上述螺旋弹簧。9.如申请专利范围第8项所述的刷洗机台用刷头,其中上述刷块系由软质材料制成。10.如申请专利范围第9项所述的刷洗机台用刷头,其中上述刷块系由PVA制成。图示简单说明:第一图系显示DNS公司所产生之刷洗机构台的部份立体图;第二图系显示习知刷洗机构台的立体分解图;第三图系显示第二图所示习知刷洗机构台用刷头组合完成的纵剖面图;第四图系显示第二图所示习知刷洗机构台用刷头受压的纵剖面图;第五图系显示本创作之刷洗机台用刷头的立体分解图;第六图系显示第五图所示本创作之刷洗机台用刷头组合完成的纵剖面图;以及第七图系显示第五图所示本创作之刷洗机台用刷头受压的纵剖面图。 |
