重氮弱硷显影型正型光阻组成物

摘要

本发明系关于一种正型光阻组成物，至少包含感光物及酚醛树脂，其中该酚醛树脂系由甲醛与酚类组成物聚合而成，该酚类组成物包含：(1)重量百分比至多为98之单羟基苯化合物，包含：50～80莫耳百分比之间甲酚；10～30莫耳百分比之2,5-二甲基酚；及10～40莫耳百分比之2,3,5-三甲基酚。(2)重量百分比至少为2.0的具如下式之多羟基苯化合物CC其中ｎ为1或2之整数。