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1.一种用来获取代表一波形之诸电压资料的方法,该波形位于一电路之一节点上,而方法系使用一带电粒子束探测器而获取,方法之特征为:a)将具有一对应之时间参考to的一种刺激信号图案施加到电路;b)获取在时序参考后之一经选定延迟点ti处之一取样値,方法是:(i)设定一滤波器电压(Vfilter)等于一已预测値;(ii)将滤波器电压施加到位于节点与一侦测器之间的一种滤波器栅;(iii)将在时序参考后之经选定延迟点ti处之一带电粒子束脉波施加到节点;(iv)侦测通过滤波器栅的诸多二次带电粒子;(v)根据诸多已侦测二次带电粒子,产生一电流信号;(vi)将电流信号加以积分,以便测量出与滤波器电压之已预测値和一实际电压値有关之一电压;(vii)利用已测得电压来更新该已预测値;及c)重复步骤a)和b)许多次,以便透过每次的刺激信号图案重复而获取在一经选定延迟点ti处之一取样値。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中取样値包括一电压取样値,而步骤b)(vi)和b)(vii)则包括:将电流信号加以积分,以便测量出表示在已预测値与实际値之间差値之一误差电压;并利用误差电压来更新已预测値。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中步骤b)包括:(i)根据至少一已先前储存的数値,设定一已预测电压(Vdac);(ii)将已预测电压(Vdac)与一积分器电压(Vint)加以总和,以产生一滤波器电压(Vfilter);(iii)将由通过滤波器栅之诸二次带电粒子所产生之一侦测器电流(Isec)与一参考电流(Iref)加以组合,以产生一积分器电流(Iint),使得:当滤波器电压系在节点上电压之一预定关系中时,积分器电流就是零;(iv)在一时间间隔内,将积分器电流加以积分,以产生积分器电压;及(v)当获取一随后的取样値时,储存表示滤波器电压之一数値及表示侦测器电流之一数値,以供设定已预测电压之用。4.根据申请专利范围第3项之方法,其中取样値包括一电压取样値。5.根据申请专利范围第1或3项之方法,其中:步骤b)(i)之第一执行动作(performance)包括:设定已预测电压(Vdac)等于一初始电压(Vinitial);而步骤b)(i)之随后的执行动作包括:根据b)(vi)之一先前的执行动作,改变已预测电压(Vdac)。6.根据申请专利范围第4项之方法,还包括:在获取电压取样値之前,用来重新设定积分器电压的步骤。7.根据申请专利范围第4项之方法,还包括:从一次的刺激信号图案重复到下次的重复,用来变化所选定延迟点ti的步骤;及其中:透过每次的刺激信号图案重复,步骤b)(i)包括:根据在获取一前次电压取样値期间所储存之一数値而设定已预测电压,而该取样値则系在时序参考后之经选定延迟点ti处。8.根据申请专利范围第7项之方法,其中变化经选定延迟点t1的步骤包括:从诸多延迟点t1tn之一范围中,以虚拟随机方式选择一延迟点t1;或者,从诸多延迟点t1到tn之一范围中,以从t1到tn之循序方式选择一延迟点ti。9.根据申请专利范围第7或8项之方法,其中步骤b)(i)包括:将已预测电压(Vdac)设定等于在(1)于紧接在前之刺激信号图案重复期间所获取之电压取样値与(2)于一先前之刺激信号图案重复期间,在相同经选定延迟点ti处所获取之一电压取样値之间的差値。10.根据申请专利范围第5项之方法,其中步骤b)(i)之随后的执行动作包括:将已预测电压(Vdac)设定等于许多已先前获取的滤波器电压取样値之平均値。11.根据申请专利1范围第10项之方法,其中许多已先前获取的滤波器电压取样値包括:在许多经选定延迟点ti处所获取的诸多滤波器电压取样値。12.一种带电粒子束探针系统,供当将具有一对应之时序参考to之一刺激信号图案重复地施加到电路时,用以获取表示在一电路节点上的一种波形之诸电压的资料,此系统包括:a)回应于具有结合式记忆体之一处理器的一种电路(1135,1140),用来设定一滤波器电压(Vfilter)等于一已预测値;b)将利用滤波器电压充电而连接的一种滤波器栅,位于节点与一侦测器之间;c)用来侦测通过滤波器栅之诸二次带电粒子以产生一电流信号的一种侦测器;d)用来积分电流信号以产生表示在已预测値与一实际値间的差値之一误差电压的一种积分器;及e)回应于误差电压的一种具有结合式记忆体的处理器,每当刺激信号图案被施加到电路时,误差电压就用来重新设定滤波器电压。13.根据申请专利范围第12项之系统,其中积分器包括:用来重新设定误差电压之一可控制元件(1150)。14.根据申请专利范围第13项之系统,其中可控制元件包括一数位-类比转换器。15.根据申请专利范围第14项之系统,其中数位-类比转换器将一已预测电压(Vdac)供给到加法器,用来将已预测电压与误差电压加以总和,以便产生滤波器电压。16.根据申请专利范围第15项之系统,其中数位-类比转换器系回应于由处理器所供给之一数値,用来供给已预测电压。17.根据申请专利范围第12到16项中任何一项之系统,包括:a)根据一已先前储存的数値,用来供给一已预测电压(Vdac)之一已预测电压源;b)用来将已预测电压(Vdac)与一积分器电压(Vint)加以总和以产生滤波器电压(Vfilter)之一加法器;c)用来将在时间参考后之一经选定延迟点ti处之一带电粒子束脉波施加到节点之一粒子束源;d)用来将侦测器电流(Isec)与一参考电流(Iref)加以组合以产生一积分器电流(Iint)之一电流组合电路,使得:当滤波器电压系在节点上电压之一预定关系中时,积分器电流就为零;e)在一时间间隔内,用来将积分器电流加以积分以产生积分器电压之一积分器;及f)具有用来储存表示滤波器电压之一数値的结合式记忆体之一处理器,当获取一随后的电压取样値时,该数値用于设定已预测电压。18.根据申请专利范围第17项之系统,其中加法器包括具有:被连接以接收积分器电压的第一输入端;被连接以接收已预测电压的第二输入端;以及用来将滤波器电压供给到滤波器栅之一输出端的一个总和放大器。19.根据申请专利范围第17项之系统,其中积分器包括:用来重新设定积分器电压之一可控制元件。20.根据申请专利范围第19项之系统,其中积分器包括:一电容器,及用来将电容器放电以重新设定积分器电压之一可控制开关。图示简单说明:第一图显示一先前技艺的电子束测试探针系统;第二图系组配用来获取诸多波形图像的一种电子束测试探针系统之一部份功能图;第三图系一种先前技艺的波形获取方案之一时序图;第四图系一种先前技艺的多重取样波形获取方案之一时序图;第五图以电路图方式图解说明:一种先前技艺的波形获取方案;第六图图解说明:先前技艺的线性模式取样法;第七图图解说明:在一被埋导体上之电压的先前技艺取样法;第八A图显示:在第七图的导体上之一波形,而第八B图则显示:在第七图的介电层上之电压;第九图显示:第七图的系统布置之一等效电路;第十图图解说明:先前技艺的随机模式取样法;第十一A图以电路图方式图解说明:根据本发明,适于预测性波形获取的一种系统布置;第十一B图显示:根据本发明,第十一A图之系统布置的一种修改;第十一C图显示:根据本发明,第十一A图之系统布置的另一种修改;第十二图系根据本发明,一种较佳的预测性波形获取方法之一流程图;第十三A图图解说明:根据本发明,怎样才能将已预测电压加以设定等于前几次取样之一平均値;及第十三B图系针对参考第十三A图所述方法之一流程图。 |
