| 主权项 |
1.一种吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其包括一层由可烧结吸气剂材料与可烧结金属过滤材料所组成之实质上均匀混合物,此复合经烧结元件系界定一种实质上互连孔隙之基质。2.根据申请专利范围第1项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该金属包括镍。3.根据申请专利范围第1项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该经烧结元件,呈其未加工形式,系未使用黏合剂。4.根据申请专利范围第1项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该可烧结吸气剂材料系视情况包括一种可烧结金属。5.根据申请专利范围第1项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该吸气剂材料,以重量百分比计,系包含Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)。6.一种吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其包括一层实质上均匀可烧结吸气剂材料,此经烧结元件系界定一种实质上互连孔隙之基质,及第一个与第二个可烧结金属过滤材料层,该可烧结吸气剂材料层系位于该第一个与第二个金属过滤层之间。7.根据申请专利范围第6项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该金属包括镍。8.根据申请专利范围第6项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该可烧结吸气剂材料系视情况包括一种可烧结金属。9.根据申请专利范围第6项之吸气剂-过滤器复合薄膜元件,其中该吸气剂材料,以重量百分比计,系包含Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)。10.一种吸气剂-过滤器复合薄膜过滤器,其包括一种吸气剂-过滤器复合薄膜元件,此元件包含可烧结吸气剂材料与可烧结金属过滤器材料之实质上均匀混合物层,此复合经烧结元件系界定一种实质上互连孔隙之基质,及一个界定流体导管之罩壳,以及一个用以保持该吸气剂-过滤器元件在该导管中之套壳,该套壳具有一个前面及一个后面,且该吸气剂-过滤器元件系位于其间,并可密封地接合至该套壳。11.根据申请专利范围第10项之吸气剂-过滤器复合薄膜过滤器,其中该金属包括镍。12.根据申请专利范围第10项之吸气剂-过滤器复合薄膜过滤器,其中该经烧结之未加工形式系未使用黏合剂。13.根据申请专利范围第10项之吸气剂-过滤器复合薄膜过滤器,其中该可烧结吸气剂材料系视情况包括一种可烧结金属。14.根据申请专利范围第10项之吸气剂-过滤器复合薄膜过滤器,其中该吸气剂材料,以重量百分比计,系包含Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)。15.一种制造多层吸气剂-过滤器复合薄膜元件之方法,其包括以下步骤:a.制造一种经烧结吸气剂元件;b.将该经烧结吸气剂元件置于模具中,并将一个经烧结之树枝状金属层沈积在该吸气剂元件之第一个表面上,藉以制造两层复合元件;c.翻转该两层复合元件,藉以制备供舖层用之第二个表面;及d.于该两层元件之第二个表面上,制造第二个金属层,藉以制造多层吸气剂-过滤器复合薄膜元件。16.根据申请专利范围第15项之方法,其中制造一种经烧结吸气剂元件之方法系包括:a.将一种可烧结吸气剂材料之实质上均匀低密度床,沈积在一个适合对其施加压缩力之模具中;b.压缩该可烧结吸气剂材料之底密度床,以形成一种吸气剂未加工形式;c.于第一个温度下,烧结该吸气剂未加工形式;及d.于第一个压力下,压缩该吸气剂未加工形式,以形成经烧结之吸气剂元件。17.根据申请专利范围第15项之方法,其中制造一种两层复合元件之方法系包括:a.将一种可烧结树枝状金属材料之实质上均匀低密度床,沈积在该吸气剂元件之第一个表面上,此元件系位于一个适合对其施加压缩力之模具中;b.于该吸气剂元件之第一个表面上,压缩该可烧结树枝状金属材料之低密度床,以形成两层复合元件未加工形式;c.于第二个温度下,烧结该两层复合元件未加工形式;及d.于第二个压力下,压缩该两层复合未加工形式,以形成两层复合元件。18.根据申请专利范围第15项之方法,其中制造第二个金属层之方法系包括:a.将一种可烧结树枝状金属材料之实质上均匀低密度床,沈积在该两层复合元件之第二个表面上,此元件系位于该模具中;b.于该两层复合元件之第二个表面上,压缩该可烧结树枝状金属材料之低密度床,以形成三层复合元件未加工形式;c.于第二个温度下,烧结该三层复合元件未加工形式;及d.于第二个压力下,压缩该三层复合未加工形式,以形成多层复合元件。19.根据申请专利范围第15项之方法,其中沈积该实质上均匀低密度床,系包括气流舖设该可烧结树枝状金属材料于适合对其施加压缩力之模具中,该气流舖设床具有之正常密度系低于或等于该可烧结树枝状金属材料之密度。20.根据申请专利范围第15项之方法,其中压缩该可烧结树枝状金属材料之实质上均匀低密度床,系发生于500psi至1500psi之压力下。21.根据申请专利范围第15项之方法,其中该复合未加工形式,系于775℃至825℃之温度下烧结。22.根据申请专利范围第15项之方法,其中该经烧结之复合未加工形式,系于第二个较高压力下压缩,藉以对该元件赋予额外结构刚性。23.根据申请专利范围第15项之方法,其中该经烧结之复合未加工形式,系被分离成预定尺寸之各别过滤器元件。24.根据申请专利范围第23项之方法,其中该分离作业系藉导线EDM切割达成。25.根据申请专利范围第15项之方法,其中该经烧结复合未加工形式系未使用黏合剂。26.根据申请专利范围第15项之方法,其中该可烧结树枝状金属材料系包括镍。27.一种制造吸气剂-过滤器复合薄膜元件之方法,其包括以下步骤:a.将一种可烧结金属材料之实质上均匀低密度床,沈积在一个适合对其施加压缩力之模具中;b.压缩该可烧结金属材料之低密度床,以形成第一个金属未加工形式;c.重复步骤a.-b.,替换一种可烧结吸气剂材料,以在该第一个金属未加工形式之上方,制造一个吸气剂未加工形式;d.重复步骤a.-b.,以在该吸气剂未加工形式之上方,制造第二个金属未加工形式,藉以形成复合未加工形式;e.移除该三层复合未加工形式;及f.烧结该复合未加工形式。28.一种作为吸气剂-过滤器复合薄膜元件使用之产物,其系以下述方法制成:a.制造一种经烧结吸气剂元件;b.将该经烧结吸气剂元件置于模具中,并将一个经烧结之树枝状金属层沈积在该吸气剂元件之第一个表面上,藉以制造两层复合元件;c.翻转该两层复合元件,藉以制备供舖层用之第二个表面;及d.于该两层元件之第二个表面上,制造第二个金属层,藉以制造多层吸气剂-过滤器复合薄膜元件。图示简单说明:第一图为本发明吸气剂-过滤器复合薄膜之扫描式电子显微镜图。第二图(a-f)为制造第一图之吸气剂-过滤器元件方法之概要描述。第三图为本发明吸气剂-过滤器复合薄膜横截面之显微镜照片,其显示一项此装置具体实施例之层状结构。第四图为一种根据本发明所制成之吸气剂-过滤器元件之流量对入口压力之图,显示其线性回应。第五图为在离开根据本发明所制成之吸气剂-过滤器之出口处所度量之氧浓度图,其中该吸气剂-过滤器系使用恒定浓度之氧(105 ppb)激发,且出口浓度系随着时间度量。第六图为采用根据本发明之过滤器时,杂质浓度随着时间降低之图。 |
