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发明名称 Nieuw fotoresist-copolymeer.
摘要
申请公布号 NL1007343(C2) 申请公布日期 1998.06.08
申请号 NL19971007343 申请日期 1997.10.23
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JAE CHANG JUNG;CHEOL KYU BOK;HYUNG GI KIM
分类号 C08F8/30;C08F20/04;C08F20/12;C08F22/40;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F20/04;C08G73/06 主分类号 C08F8/30
代理机构 代理人
主权项
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