| 发明名称 | 用于对容器中的衬底进行湿处理的方法及设备 | ||
| 摘要 | 一种用于湿处理容器中的蒸发物凝聚层的方法,在容器中引入一种流体,并且通过一套溢流装置排出,如果溢流装置漂浮在流体上并和流体表面一起降低和/或升高,那么就得到一种使用简单方法的特点简单的处理过程。不需要用于从流体中提升和取出衬底的机械装置。本发明介绍了用于实施这种处理的、衬底湿处理设备。 | ||
| 申请公布号 | CN1184557A | 申请公布日期 | 1998.06.10 |
| 申请号 | CN96193885.4 | 申请日期 | 1996.05.02 |
| 申请人 | 施蒂格微技术有限公司 | 发明人 | L·登茨列尔;H·哈姆斯-詹森 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;章社杲 |
| 主权项 | 1.用于在容器中温处理衬底的方法，容器内导入至少一种流体，并且并通过一套溢流装置排出，该方法特征在于：溢流装置漂浮在流体上，并且为了释放和淹没容器中的衬底，和流体表面一起下降和或上升。 | ||
| 地址 | 联邦德国普里茨豪森 | ||