| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 웨이퍼 증착장비에 관한 것으로, 종래에는 웨트 스크러버의 입구부에 반응부산물의 증착으로 장비가 갑자기 다운됨으로서, 배기가스 및 반응부산물이 역류하여 웨이퍼를 오염시키고, 결국은 불량을 발생시키는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 증착장비는 웨트 스크러버의 입구부에 배기라인으로 흐르는 배기가스의 흐름을 감지하기 위한 감지수단을 설치하여, 배기라인의 내부에 과다한 반응부산물의 증착이 발생하여 배기가스의 흐름이 변화하는 것을 감지함으로서, 반응부산물의 증착에 따른 장비의 급작스런 다운을 방지하게 되고, 따라서 장비의 다운시 배기가스가 역류하여 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지하게 되어 웨이퍼의 불량발생을 방지하게 되는 효과가 있다.</p> |
