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<p>본 고안은 반도체장비의 온도보정용 열전대에 관한 것으로, 상기와 같이 공정진행관 내에 고정, 설치되는 온도보정용 열전대를 고온인 공정진행관 내에서 장시간 사용하는 경우에, 종래에는 받침대와 보호관이 서로 다른 재질로 형성되므로 서로 다른 열팽창률이 발생하게 되고, 이로 인해 공정진행관에서의 분리시 열전대가 파손되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 상기 열전대를 보호하는 열전대 보호관이 그 열전대 보호관을 지지하는 받침대와 동일한 재질로 형성, 조합되고, 그 조합되는 부위도 나사체결 방식으로 하여 상기 공정진행관에서 열전대를 장시간 사용한 후에 분리하더라도 상기 열전대가 쉽게 파손되지 않는 효과가 있다.</p> |
