发明名称
摘要
申请公布号 JP2814106(B2) 申请公布日期 1998.10.22
申请号 JP19890163167 申请日期 1989.06.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/30;(IPC1-7):C23C16/30 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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