步进机构之界面装置

摘要

本创作系关于半导体装置之制造技术中藉光学掩蔽技术形成图型时所使用之步进器主控制器和室之间之界面装置。其构成为包括：一电源供给部，连接于室组件之第１端子T１和第２端子T２之间而用来发生界面装置所使用之预定恒压电压；一异常状态检测部，用于输入由室组件之第３端子T３和第4端子T４所提供之信号以检测室组件之运作停止状态或室内限制温度范围之超过状态并输出异常状态信号；以及一开关部，用于依异常状态检测部之输出，控制异常状态显示用灯之开/断，并将该异常状态检测信号提供步进器本体组件之主控制部。因此，如依照上述界面装置，即使步进机构系由个别制造的步进器本体和室组件所组合而成，当检测到室组件的异常状态(超过室的限制温度、室之运作停止或电源供给被切断时)时，亦能使该室停止运作，以防止不良晶片之发生。

主权项

1.一种步进机构之界面装置,该步进机构具备一室组件和一步进器本体组件,而该步进器本体组件具有该室组件发生异常状态时用于控制该室组件操作之控制逻辑,该界面装置的特征为包括:连接于该室组件之第1端子T1和第2端子T2之间而用来产生该界面装置所使用的预定恒电压之电源供给部;用来输入由该室组件之第3端子T3和第4端子T4所提供之信号而检测该室组件之操作停止状态或该室组件室内限制温度范围之超过状态,并输出异常状态信号之异常状态检测部;以及藉该异常状态检测部之输出,控制异常状态显示用灯之开/关,并将该异常状态检测信号提供于该步进器本体组件的主控制部之开关部。2.如申请专利范围第1项之步进机构之界面装置,其中该电源供给部系将由该第1端子所提供之第1电源变换为该界面装置所使用之第2电源。3.如申请专利范围第2项之步进机构之界面装置,其中该第2电源为双极层次之Vcc电源。4.如申请专利范围第1项之步进机构之界面装置,其中该电源供给部被设有一电源供给显示用之发光二极管其系并联连接于该第1端子和该第2端子之间。5.如申请专利范围第1项之步进机构之界面装置,其中该第2端子为接地端子。6.如申请专利范围第1项之步进机构之界面装置,其中该异常状态检测部包括:用来由从该第3端子所提供之信号检测该室组件之操作停止状态信号之第1光耦合器;用来由从该第4端子所提供之信号检测该限制温度范围之超过状态之第2光耦合器;以及用来将该第1及第2光耦合器之输出信号逻辑组合而输出异常状态检测信号之逻辑部。7.如申请专利范围第6项之步进机构之界面装置,其中该逻辑部包括:用来将该第2光耦合器之输出信号加以反转而输出之第1逻辑闸;用来输入该第1光耦合器之输出和该第1逻辑闸之输出而至少将一输入信号作为异常状态检测信号而输出之第2逻辑闸。8.如申请专利范围第7项之步进机构之界面装置,其中该第1逻辑闸为将两输入端连接成一起的反及闸。9.如申请专利范围第1项之步进机构之界面装置,其中该开关部包含由该异常状态检测信号之位准所转换之继电器。图式简单说明:第一图为表示连接于步进器(stepper)和室(chamber)之间的本创作之界面装置之构成示意方块图。第二图为第一图所示本创作之界面装置之详细电路图。