| 主权项 |
1.一种超清净空气之制造方法,其特征为令大气所采集之原料空气,经由-40℃--180℃之处理温度下使用于-40℃-180℃之温度条件下令氮气优先选择吸附之吸附剂进行低温吸附处理,而自原料空气吸附除去其中所含之氮、氧、稀有气体以外之化学成分。2.如申请专利范围第1项之超清净空气之制造方法,其中经由低温吸附处理原料空气,以得露点为-40℃--120℃之超清净空气。3.如申请专利范围第1项之超清净空气之制造方法,其中经由低温吸附处理原料空气,以得化学成分之浓度为1ppb以下且露点为-100℃以下之超清净空气。4.如申请专利范围第1项、第2项或第3项之超清净空气之制造方法,其中将化学成分分为凝固温度近似之复数化学成分群,并且将低温吸附处理工程分成相当于各处理温度比各化学成分群之凝固温度范围更高之近似温度之化学成分群数目的吸附工程,并由处理温度较高者依序进行此等吸附工程,自凝固温度范围高者阶段性地对各化学成分群进行吸附除去。5.如申请专利范围第1项、第2项或第3项之超清净空气之制造方法,其中于低温吸附处理前,预先对原料空气施行至少令化学成分中之二氧化碳气体及水分予以除去之前处理。6.如申请专利范围第4项之超清净空气之制造方法,其中于低温吸附处理前,预先对原料空气施行至少令化学成分中之二氧化碳气体及水分予以除去之前处理。7.如申请专利范围第1项、第2项或第3项之超清净空气之制造方法,其中以膨胀机予以膨胀被低温吸附处理过之一部分空气,并且使用作为低温吸附处理用之寒冷源。8.如申请专利范围第4项之超清净空气之制造方法,其中以膨胀机予以膨胀,被低温吸附处理过之一部分空气,并且使用其作为低吸附处理用之寒冷源。9.如申请专利范围第5项之超清净空气之制造方法,其中以膨胀机予以膨胀,被低温吸附处理过之一部分空气,并且使用其作为低温吸附处理用之寒冷源。10.如申请专利范围第6项之超清净空气之制造方法,其中以膨胀机予以膨胀,被低温吸附处理过之一部分空气,并且使用其作为低温吸附处理用之寒冷源。图式简单说明:第一图示出用以实施本发明超清净空气之制造方法之系统之一例的系统图。第二图示出该系统修饰例之系统图。第三图示出该系统另外之修饰例之系统图。第四图示出实验装置之系统图。 |
