发明名称 半导体元件处理器之元件载入释放装置
摘要 一种半导体元件处理器之元件载入释放装置,包括有一用以容纳完成之元件之托盘;一具有数个输送架之试盘,该输送架之底部设有一空间以使元件之底部可朝下露出而设置,该输送架具有一止动件以支持该元件不会从该空间自然地落下;底部载入装置用以拾取该托盘之元件、于该试盘下方移动,且将其载入一输送架之底部空间;而设于该试盘上方之止动件延伸装置乃可在相同于该底部载入装置之方向输送,当该底部载入装置载入/释放该元件至/从该输送件之空间时,该装置乃藉由预定之间隔延伸该止动件。
申请公布号 TW360936 申请公布日期 1999.06.11
申请号 TW085102480 申请日期 1996.03.01
申请人 麦瑞公司 发明人 金斗
分类号 H01L21/64 主分类号 H01L21/64
代理机构 代理人 林志诚 台北巿南京东路三段一○三号十楼
主权项 1.一种半导体元件处理器之元件载入释放装置,包括有:一托盘,用以容纳完成之元件;一试盘,具有数个输送架,该输送架之底部设有一空间,使元件之底部可向下露出地设置,该输送架具有一止动件以支持该元件不会从该空间自然地落下;底部载入装置,用以拾取上述之托盘之元件,将其移位至上述之试盘下方,并将其载入上述之输送架之底部空间;及止动件延伸装置,系设于上述之试盘而可与上述之底部截入装置作相同方向之输送,当该底部载入装置载入/释放该元件至/从该输送架之空间时,该装置系藉由一预定之间隔延伸该止动件者。2.依据申请专利范围第1项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,其进一步包括输送装置,以输送上述之止动件延伸装置至对应于该试盘之其中一排输送架。3.依据申请专利范围第1项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该底部载入装置包括有:元件定位装置,用以当托盘内之元件被载入时决定该元件之位置;一输送件,于上述之托盘与试盘之间水平地往复运动;一第一扬昇件,藉由设于上述输送件之第一及第三气压缸驱动而上昇或下降;数个装配组,系设于上述之第一扬昇件,于其上之元件系由所设之定位装置所定位者;及一校准块,系藉由一弹簧弹性地设于上述之第一扬昇件,于其上设有一对应于上述之装配组之空间。4.依据申请专利范围第3项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该定位装置系一种设于上述校准块上面之斜面。5.依据申请专利范围第1项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该止动件延伸装置包括有:一第二扬昇件,系由上述之气压缸驱动而上昇或下降;一对止动件延伸组,系连设于上述之第二扬昇件而可左右移动;一滑动器,系设于上述止动件延伸组之间,其可前后往复延伸上述之止动件延伸组朝向二侧;驱动元件,系设于上述第二扬昇件之一侧,用以使上述之滑动器作前后往复运动;及一止动件延伸梢,系设于上述止动件延伸组之下方,在于当上述之止动件延伸组藉由滑动器向外延伸时,用以延伸出设于上述输送架之止动件。6.依据申请专利范围第5项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该设于上述第二扬昇件侧边之第四气压缸系藉由驱动装置使上述之滑动器后退或前进,因而该第四气压缸之缸轴系设于该滑动件之一侧。7.依据申请专利范围第5项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该设于上述滑动器二侧之突出部系用以容入设于上述之止动件延伸组之凹处,该凹处具有一连结于位在突出部一侧之较窄部位之突出件,于上述多数二止动件延伸组之间以一预定间隔地设有一弹簧。8.依据申请专利范围第7项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该突出件结合于该突出部系藉由一轴承构成者。9.依据申请专利范围第5项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,一弹性设置而插入上述输送架之引出孔之引出梢系藉由一设于上述第二扬昇件中心之弹簧达成者。10.依据申请专利范围第9项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,一呈弹性设置之输送架掣动梢系藉由一设于上述第二扬昇件之引出梢二侧之弹簧达成者,当该第二扬昇架下降时,该输送架掣动梢乃压掣于该输送架之顶部。11.依据申请专利范围第9项所述之半导体元件处理器之元件载入释放装置,该止动件延伸装置之输送件系包括有:一侧板,系设于上述托盘与试盘之间;一第一无杆气压缸,系设于上述之侧板;一输送组,其下部系结合于上述之第一无杆气压缸,并由该第一无杆气压缸驱动而水平地移动;及一第二无杆气压缸,系结合于该输送组之上部并设于该止动件延伸装置之顶部,该第二无杆气压缸系使该止动件延伸装置水平地移动者,由是,该第一及第二无杆气压缸连续作动时,该止动件延伸装置乃对应于其中一排该输送架。图式简单说明:第一图系习知之载入/释放装置设于元件处理器之俯视图;第二图系试盘之输送架之立体图;第三图系第二图之垂直剖面视图;第四图系本发明之装置之局部前视剖视图;第五图系第四图之俯视图;第六图系第四图沿A-A线之剖视图;第七图系本发明之止动件延伸装置之俯视图;第八图系第七图之装置之前视图,部份系以剖视图表示;第九图系第八图之仰视图,且部份予以省略;第十图A-第十图D系用以说明止动件延伸装置之输送元件之侧视图,第十图A显示在一壳体中,该止动件延伸装置系对应于输送架之第一排位置,第十图B显示在一壳体中,该止动件延伸装置系对应于输送架之第二排位置,第十图C显示在一壳体中,该止动件延伸装置系对应于输送架之第三排位置,且第十图D显示在一壳体中该止动件延伸装置系对应于输送架之第四排位置;第十一图系显示一元件载入试盘时之立体图;第十二图为显示输送架组成试盘之立体分解图;第十三图系第十二图在组合状态之垂直剖视图;第十四图A-第十四图F系用以说明本发明之操作之垂直剖视图,第十四图A系显示一元件放置于装配组并定位之状态,第十四图B为显示该校准块上昇以连接输送架底部之状态,第十四图C为显示该第二扬昇组下降以使止动件延伸梢连接于该止动件之侧边之状态,第十四图D系显示该止动件延伸组朝两侧移动以向外延伸止动件之状态,第十四图E系显示装配组昇起以放置于输送架之空间之状态,第十四图F系显示止动件延伸组回到其原始状态,以使止动件抓住元件并使装配组降低。
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