发明名称 半导体制程设备之电力箱自动消防装置
摘要 一种半导体制程设备之电力箱自动消防装置,此装置连接于电力箱,包括区域探测单元、防火单元与控制系统单元。区域探测单元包括火灾警报探测器与双重解码编址系统,本发明此处提供八频道的区域探测单元,其结合两个四频道的火灾警报探测器以及取样编址解码器。而防火单元包括第一气阀、第二气阀与涡流管,第一气阀与涡流管相连,防火单元可进行两阶段的防火步骤,第一步骤为低温的氮气输入电力箱,而第二步骤为大量室温的氮气输入电力箱中。至于控制系统单元则用以监测控制区域探测单元与防火单元。
申请公布号 TW362241 申请公布日期 1999.06.21
申请号 TW087103640 申请日期 1998.03.12
申请人 财团法人工业技术研究院;联瑞积体电路股份有限公司 新竹科学工业园区新竹巿力行二路三号 发明人 张少贵;许弘毅;郭永杰;黄建荣;欧阳亮
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种半导体制程设备之电力箱自动消防装置,该装置连接于一电力箱,包括:一区域探测单元,该区域探测单元包括一取样火灾警报探测器与一双重解码编址系统;一防火单元,该防火单元与该区域探测单元相连,且该防火单元包括一第一气阀、一第二气阀与一涡流管,该第一气阀与该涡流管相连,且该第一气阀与该第二气阀连接一气体源;以及一控制系统单元,用以监测控制该区域探测单元与该防火单元。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该双重解码编址系统包括八频道双重解码编址系统。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该双重解码编址系统系结合两个四频道解码编址系统。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该取样火灾警报探测器系为IFD Cirrus 360。5.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该取样火灾警报探测器系提供两种警报,包括第一阶段与第二阶段的火灾警报,而该第二阶段的火灾情况较该第一阶段的火灾情况严重。6.如申请专利范围第1项所述之装置,其中当发出第一阶段火灾警报时,该防火单元系打开该第一气阀,使得该气体源会经由该涡流管而流入该电力箱中,用以降低环境的温度。7.如申请专利范围第1项所述之装置,其中当发出第二阶段火灾警报时,该防火单元系打开该第二气阀,而关闭该第一气阀,使得大量该气体源流入该电力箱中,可隔离氧气与火源的接触。8.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该气体源包括氮气。9.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该气体源包括二氧化碳。10.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该双重解码编址系统系提供28个探测点。11.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该双重解码编址系统系结合n组四频道解码编址系统,提供[(4n)(4n-1)2]个探测点。12.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该双重解码编址系统连接两个取样头于该电力箱中,用以探测该电力箱中的火灾异常现象。13.如申请专利范围第1项所述之装置,其中更包括连接一主控制器,用以连接复数个该区域探测单元。14.一种半导体制程设备之电力箱自动消防装置,包括:一电力箱;一区域探测单元,以复数个取样头于该电力箱中,该区域探测单元包括一取样火灾警报探测器与一双重解码编址系统,该取样火灾警报探测器系提供两种警报,包括第一阶段与第二阶段的火灾警报;一防火单元,该防火单元与该区域探测单元相连,而该防火单元包括一第一气阀、一第二气阀与一涡流管,该第一气阀与该涡流管相连,且该第一气阀与该第二气阀连接一气体源;以及一控制系统单元,用以监测控制该区域探测单元与该防火单元。15.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该双重解码编址系统包括八频道双重解码编址系统。16.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该双重解码编址系统系结合两个四频道解码编址系统。17.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该取样火灾警报探测器系为IFD Cirrus 360。18.如申请专利范围第14项所述之装置,其中当发出第一阶段火灾警报时,该防火单元系打开该第一气阀,使得该气体源会经由该涡流管而流入该电力箱中,用以降低环境的温度。19.如申请专利范围第14项所述之装置,其中当发出第二阶段火灾警报时,该防火单元系打开该第二气阀,而关闭该第一气阀,使得大量该气体源流入该电力箱中,可隔离氧气与火源的接触。20.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该气体源包括氮气。21.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该气体源包括二氧化碳。22.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该双重解码编址系统系提供28个探测点。23.如申请专利范围第14项所述之装置,其中该双重解码编址系统系系结合n组四频道解码编址系统,提供[(4n)(4n-1)2]个探测点。24.如申请专利范围第14项所述之装置,其中更包括连接一主控制器,用以连接复数个该区域探测单元。图式简单说明:第一图,其所绘示的是习知一种火灾警报电路系统示意图;第二图,其所绘示的是习知一种利用可编址功能的取样阀来选择元件的结构示意图;第三图,其所绘示根据本发明之一较佳实施例,一种自动消防装置连接于电力箱的结构示意图;第四图,其所绘示根据本发明之一较佳实施例,一种自动消防装置中区域探测单元电路结构示意图;以及第五图,其所绘示根据本发明之一较佳实施例,一种自动消防装置中区控制系统单元的电路结构示意图。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号