| 主权项 |
1.一种积体化等温差式流量计,包含:一流体通道,以供待量测之流体流过;一流体温度感测器,以量测该流体之温度;一加热器,以产生热能;该加热器位于该流体通道之内,且可与该流体直接接触;一加热器温度感测器,邻近该加热器,以量测该加热器之温度;一电源,以供应电流至该流体温度感测器,该加热器,及该加热器温度感测器;一控制电路,以控制供应至该加热器之电流,使该加热器之温度与该流体之温度维持一定差値,并输出代表该电流値变化之讯号;及一计算器,以依据该控制电路输出之电流値变化讯号,计算该流体之流量;其特征在于,该积体化流量计另包括:一绝缘层,以对该加热器及该加热器温度感测器提供一电性绝缘;及一浮动元件,位于与该流体通道实质正交之处,用以支撑该加热器及该加热器温度感测器。2.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该控制电路包括一惠斯登电桥(Wheatstone bridge)。3.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该加热器为一铂片。4.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该加热器温度感测器为一铂片。5.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该绝缘层为一二氧化矽层。6.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该浮动元件为一矽氮化物(SiNx,X N)层。7.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该加热器系以一金属氧化物层固定于该浮动元件上。8.如申请专利范围第1项之积体化流量计,其中该加热器系以一三氧化二铬层固定于该浮动元件上。9.如申请专利范围第1-8项中任一项之积体化流量计,其中该流体通道系形成于一矽基板上,其出口及入口穿设于该矽基板,该流体通道并覆以玻璃外盖;其中该浮动元件,该加热器及该加热器温度感测器系跨设于该出口与该入口之至少一者。图式简单说明:第一图表示一种等温差式流量计之系统图。第二图表示一个适用在等温差式流量计之惠斯登电桥模组电路图。第三图显示本发明积体化流量计一实施例之构造截面图。第四图表示其加热器模组之结构示意图。第五图表示其加热器模组之截面图。第六图显示本发明积体化流量计之加热器模组制法流程示意图。 |
