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发明名称
摘要
申请公布号
JP2935145(B2)
申请公布日期
1999.08.16
申请号
JP19910320414
申请日期
1991.12.04
申请人
SUMITOMO IITON NOBA KK
发明人
TAMAI TADAMOTO;NISHAMA KENICHI
分类号
C23C14/48;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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