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发明名称 一种三电极电容式压力感测器之结构及其制法
摘要 一种三电极电容式压力感测器之结构及其制法，能将感测电容器与参考电容器整合制作于同一压力感测腔内，此双电容整合结构可用差动线路来消除同模式的环境干扰。由于第三电极板的存在能避免上下两层极板的连接而达成在同一层平面的连接制程。在工作压力区间25psi至40psi，三电极电容式压力感测器的灵敏度为0.21pF/psi，而一般的平面式连接的压力感测器的灵敏度为0.05pF/psi。此三电极电容式压力感测器的优点为制程简易，平面式连接及高灵敏度。
申请公布号 TW371713 申请公布日期 1999.10.11
申请号 TW087113930 申请日期 1998.08.24
申请人 行政院国家科学委员会 台北巿和平东路二段一○六号十八楼 发明人 张国明;黄国贞;谢友岚
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人 江舟峰
主权项 第十三图
地址 台北巿和平东路二段一○
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