发明名称 光学位置检测装置
摘要 本发明提供一种光学位置检测装置,系具备:输入光学纤维(optical fibre)2;输出光学纤维3、4;配置在基板l上而具有分岐导光体14之平板导光体6;变换从平板导光体6所射出之光波的光路,使该光波会聚在被检测面之第l柱状透镜ll;变换在被检测面所反射之光波的光路并导入于平板导光体6之第2柱状透镜12;者,而藉由如此构成,可得即使在较长测定距离仍具有良好的检测特性之小型光学位置检测装置。
申请公布号 TW384385 申请公布日期 2000.03.11
申请号 TW087115377 申请日期 1998.09.14
申请人 三菱电机股份有限公司;福群禅屯.卡尔鲁赫公司 德国 发明人 仲嵨一;派克.鲁斯
分类号 G01B11/03 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人 陈灿晖 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼;洪武雄 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼;陈昭诚 台北巿武昌街一段六十四号八楼
主权项 1.一种光学位置检测装置,系具备:于基板上经导引机构定位配置而从外部光源导入光波之输入光学纤维;于基板上经导引机构定位配置而对外部的光检测机构导出光波之输出光学纤维;经配置于前述基板上而导引支持前述输入光学纤维以及前述输出光学纤维,变换该输入光学纤维所射出之光波的光路并射出至外部之同时,变换经过被检测面之光波的光路,介由分岐导光体导入于该输出光学纤维之平板导光体;经邻接配置于前述平板导光体,变换从该平板导光体所射出之光波的光路使该光波会聚于前述被检测面之第1柱状透镜;经邻接配置于前述平板导光体,变换于前述被检测面所反射之光波的光路,导入于该平板导光体之第2柱状透镜者。2.如申请专利范围第1项之光学位置检测装置,其中,将第1柱状透镜及第2柱状透镜定位配置之透镜定位片设置在平板导光体者。3.如申请专利范围第1项之光学位置检测装置,其中,平板导光体具备适合于输出入光学纤维的蕊层及包层之导光体构成,并依厚膜光阻的微影过程所制造者。图式简单说明:第一图表示依本发明第1形态之光学位置检测装置之斜视图。第二图表示柱状透镜之斜视图。第三图表示光学位置检测装置之平面图。第四图系第三图的X-X剖面图。第五图表示习用的依三角测量法之位置检测法之光学位置检测装置。
地址 日本