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<p>Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma mit einem Generator zur Erzeugung einer elektromagnetischen Welle und zumindest einer Plasmazone, in der die angeregten und/oder ionisierten Teilchen durch die elektromagnetische Welle gebildet werden, bereitgestellt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmazone im Innenraum eines Koaxialleiters für die elektromagnetische Welle ausgebildet ist.</p> |
