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发明名称 An apparatus for growing epitaxial semiconductor structures by chemical vapour deposition
摘要
申请公布号 IN184065(B) 申请公布日期 2000.06.03
申请号 IN1994MA24119 申请日期 1994.03.30
申请人 GENERAL SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 CHAN JOSEPH;GARBIS DENNIS;SAPIO JOHN;LATZA JOHN
分类号 C23C16/44;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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