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发明名称
CHUCK FOR SPIN COATING
摘要
申请公布号
KR200198134(Y1)
申请公布日期
2000.10.02
申请号
KR19970041555U
申请日期
1997.12.27
申请人
LG ELECTRONICS INC.
发明人
MIN, BYOUNG CHUL
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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