| 摘要 |
<p>Werkstücke werden an einer Werkstückträgeranordnung (24), bezüglich dem Bereich höchster Plasmadichte eines Plasmastrahls (1) versetzt, angeordnet und einer reaktiven Beschichtung unterworfen bei einer Abscheidungsrate von mindestens 400 nm/min. und dabei einer Temperatur von höchstens 550 °C.</p> |
