| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von reinem Siliziumdioxid, bei dem SiCl4 mittels eines Brenners (4) erhitzt und in Siliziumdioxid und HCl umgesetzt wird. Erfindungsgemäß wird das SiCl4 (3) mit einem vormischenden (11) H2-O2-Brenner (4) erhitzt.</p> |
