摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zur Hochtemperaturerfassung umfaßt einen Temperaturmeßfühler mit einem Hochtemperaturmeßelement (100), einem ersten Anschluß und einem zweiten Anschluß, die aus einem hochtemperaturstabilen Material hergestellt sind und mit dem Meßelement verbunden sind. Der Hochtemperaturmeßfühler ist in einem länglichen Gehäuse (300) benachbart zu einem ersten Ende desselben angeordnet, und das Gehäuse (300) umfaßt eine erste und eine zweite Leiterbahn, die aus einem hochtemperaturstabilen Material hergestellt sind, mit dem ersten und dem zweiten Anschluß verbunden sind und sich in Richtung eines zweiten Endes des Gehäuses erstrecken. Ferner ist eine Anschlußstelle (214, 302) zum Abgreifen eines durch den Hochtemperaturmeßfühler erzeugten Signals vorgesehen, die benachbart zu dem zweiten Ende des Gehäuses angeordnet ist. Bei der Herstellung einer solchen Vorrichtung wird zunächst der Meßfühler (100) bereitgestellt und anschließend in einer Ausnehmung eines ersten Substrats (230) benachbart zu einem ersten Ende des Substrats angeordnet. Anschließend wird ein zweites und ein drittes Keramiksubstrat (200, 260) mit dem ersten Keramiksubstrat verschmolzen, so daß die in dem zweiten und dem dritten Keramiksubstrat angeordneten Leiterbahnen mit den Anschlüssen des Meßfühlers verbunden sind, wobei sich diese Leiterbahnen zu einem zweiten Ende des zweiten bzw. dritten Keramiksubstrats erstrecken.</p> |