发明名称 肥粒铁系不钢管的内面氧化处理方法
摘要 于钢管内之一端导入氧化性气体,且一边令此钢管于钢管长度方向移动,一边装入炉内之氛围气为非氧化性之加热炉中,经由在700~1100℃温度区域之特定温度T℃中加热,则可于高效率下于作为供给半导体元件制造等中所使用之高纯度气体和水之高纯度流体用之配管及配管零件所使用之钢管内面全长,形成Cr含量及膜厚为呈均匀之Cr氧化物皮膜之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法。但,所谓氧化性气体,系指含有氢:10~99.9999体积%,水蒸气:1~300体积ppm且残余部分为惰性气体之混合气体,所谓非氧化性之氛围气,系指至少氧:3体积ppm以下,且水蒸气:30体积ppm以下之氛围气,或残留气体之压力:5Pa以下之真空氛围气。
申请公布号 TW426753 申请公布日期 2001.03.21
申请号 TW087109866 申请日期 1998.06.19
申请人 住友金属工业股份有限公司 发明人 东茂树
分类号 C23C8/18 主分类号 C23C8/18
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其为于钢管内由其一端导入氧化性气体,一边令此钢管于钢管长度方向移动,一边于炉内之氛围气为非氧化性之加热炉中以700-1100℃温度区域之特定温度T℃进行加热,令钢管之内面形成Cr氧化物皮膜之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法;但,所谓氧化性气体,系指含有氢:10-99.9999体积%,水蒸气:1-300体积ppm且残余部分为惰性气体之混合气体,所谓非氧化性之氛围气,系指至少氧:3体积ppm以下,且水蒸气:30体积ppm以下之氛围气,或残留气体之压力:5Pa以下之真空氛围气。2.如申请专利范围第1项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之流量为以下述(i)式所示之Q以上。Q={7.24(DL/t)}/c……(i)此处,Q:对象不锈钢1根内所导入之氧化性气体之流量(升/分),D:被处理不锈钢管之内径(公分),L:加热炉之上述加热温度T10℃区域部分之长度(公分),t:钢管长度方向之某一点通过加热炉之T10℃温度区域部分长度所需之时间(分),C:氧化性气体中之水蒸气浓度(体积ppm)。3.如申请专利范围第2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之流量为3Q以下。4.如申请专利范围第1或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中加热温度为750-1000℃温度区域之特定温度T℃。5.如申请专利范围第1或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中加热温度为800-1000℃温度区域之特定温度T℃。6.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之水蒸气含有率为5-200体积ppm。7.如申请专利范围第1或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之水蒸气含有率为10-100体积ppm。8.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之导入压力为0.2kgf/cm2以上。9.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中氧化性气体之导入压力为0.5kgf/cm2以上。10.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其为在导入氧化性气体之对侧管端,设置具有内面侧直径为未满10mm之筛孔零件。11.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其为在被处理钢管之管端安装爪牙钢管。12.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其为将被处理钢管于长度方向接续,连接复数之钢管。13.如申请专利范围第1项或2项中所述之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法,其中钢管之素材于重量%,含有C:0.03%以下,Si:0.5%以下,Mn:0.2%以下,Ni:5%以下,Cr:20-30%,Mo:0.1-5%,且视需要含有Cu:1%以下,W:5%以下,Al:0.05%以下,Ti:1%以下,Zr:1%以下,Nb:1%以下,B:0.01%以下,Ca:0.01%以下:Mg:0.01%以下,稀土类元素:合计0.01%以下,且残余部分为由Fe及不可避免之不纯物所组成,不纯物中之N:0.03%以下,P:0.03%以下,S:0.003%以下,O:0.01%以下。图式简单说明:第一图为示出实施本发明之肥粒铁系不锈钢管的内面氧化处理方法之一例图。
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