| 主权项 |
1.一种机台不断电系统控制电路之设计,用以使该机台之复数个工作单元在断电时,仍能对一反应室继续作业,该设计包括:一不断电系统,一端与该机台之电源耦接,一端与该些工作单元耦接,用以在该机台发生断电之情形下,仍提供电力。2.如申请专利范围第1项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该机台包括一DPS机台。3.如申请专利范围第1项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该复数个工作单元包括一加热灯泡。4.如申请专利范围第3项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该复数个工作单元更包括一循环风扇。5.如申请专利范围第3项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该复数个工作单元包括一温度控制器,一端与该加热灯泡耦接,用以在该机台发生断电之情形下,仍能控制该反应室之温度。6.如申请专利范围第5项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该温度控制包括一固态继电器,用以导通驱动该加热灯泡所需之电流。7.如申请专利范围第6项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该温度控制器更包括一温度侦测器,固定在该反应室上,用以侦测该反应室之温度。8.如申请专利范围第5项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该温度控制器包括一温度侦测器,固定在该反应室上,用以侦测该反应室之温度。9.如申请专利范围第7项所述之机台不断电系统控制电路之设计,其中该温度侦测器包括一热偶。图式简单说明:第一图系绘示依据本创作之一较佳实施例之一种机台不断电系统控制电路之设计示意图。 |
