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发明名称
摘要
申请公布号 JP3168593(B2) 申请公布日期 2001.05.21
申请号 JP19910073946 申请日期 1991.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C23C14/32;C30B25/06;H01L21/31;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/363 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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