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<p>Ein Sensor, insbesondere ein Feuchtesensor, besitzt eine Messschicht (4), deren dielektrische Eigenschaften von einem zu messenden Parameter abhängen, z.B. der Feuchtigkeit der Umgebungsluft. Auf einem Substrat (1) sind nebeneinander liegende Elektroden (2, 3) zur kapazitiven Ausmessung der Messschicht (1) vorgesehen. Zwischen den Elektroden (2, 3) und der Messschicht (4) ist eine Schutzschicht (8) aus nicht-oxididerendem Material angeordnet, vorzugsweise eine Schicht aus Siliziumoxid oder Gold. Diese Schicht verhindert eine Oxidation der Elektroden (2, 3) und erhöht die Lebensdauer und Zuverlässigkeit des Sensors.</p> |
