| 主权项 |
1.一种用以精确混合来自至少两个主要来源之化学物质之设备,该设备至少包含:至少两个测量容器,用以由该主要来源接收一预定体积之化学物质;一可摇动角管,包含第一及第二手臂彼此呈垂直,用以形成直角通路,其间该可摇动角管系透过该第一手臂以枢轴方式连接于接近每一该测量容器底部之可调整接头而定位该可摇动角管,该直角通路与该可调整接头之间高度决定该可摇动角管与该相对的测量容器所接收的预定体积;一混合容器,具有一沈浸式管线于该容器中用以促进化学物质混合;一第一主要入口管线,提供流体流通于第一主要来源与第一测量容器之间;一第二主要入口管线,提供流体流通于第二主要来源与第二测量容器之间;一分配管线,提供流体流通于该测量容器与该混合容器之间;一感应器,连接于该可摇动角管之第二手臂末端,当该测量容器中化学物质已到达该预定体积时,用以侦测通过该直角通路至该第二手臂之化学物质流量,藉由传送一关闭讯号至该主要来源与该测量容器之间的第一及第二主要入口管线上的阀门,以确实中止化学物质流量;及其中藉由摇动该可摇动角管向上或向下,改变该直角通路与该可调整接头之间高度,可调整该测量容器中之该预定体积,如此任何超过该预定体积之流体将藉由重力流动透过该第二手臂出口流出。2.一种用以精确混合来自至少两个主要来源之化学物质之设备,该设备至少包含:至少两个测量容器,用以由该主要来源接收一预定体积之化学物质;一角管,包含第一及第二手臂彼此呈垂直,用以形成直角通路,其间该第一手臂具有一连接装置设置于该第一手臂底部,该角管系透过该第一手臂之该连接装置以枢轴方式连接于每一该测量容器底部分配管线上之可调整接头而定位该角管,该直角通路与该可调整接头之间高度决定该角管与该相对的测量容器所接收的预定体积;一混合容器,具有一沈浸式管线于该容器中用以促进化学物质混合;一连接装置,提供流体流通于该主要来源、该测量容器与该混合容器之间;及其中藉由移动该角管向上或向下,改变该直角通路与该可调整接头之间高度,可调整该测量容器中之该预定体积,如此任何超过该预定体积之流体将藉由重力流动透过该第二手臂出口流出。3.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之连接装置包含一肘管与T形管之组合。4.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之连接装置更连接一阀门控制帮浦或压力管线,用以抽出化学物质至该测量容器。5.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之角管之第一手臂为一回旋弹性管,用以提供该角管上下移动。6.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之角管之第一手臂的尖端更连接一排气口,用以确保流体精确且顺畅的流出该测量容器。7.如申请专利范围第2项所述之设备,其中上述之角管更包含一感应器连接于该第二手臂末端,当该测量容器中化学物质已到达该预定体积时,用以侦测通过该直角通路至该第二手臂之化学物质流量,藉由传送一关闭讯号至该主要来源与该测量容器之间的该连接装置上的阀门,以确实中止化学物质流量。8.一种用以精确混合来自至少两个主要来源之化学物质之方法,该方法至少包含下列步骤:提供至少两个测量容器,用以由该主要来源接收一预定体积之化学物质;提供一角管,包含第一及第二手臂彼此呈垂直,用以形成直角通路,其间该第一手臂具有一连接装置设置于该第一手臂底部,该角管系透过该第一手臂之该连接装置以枢轴方式连接于每一该测量容器底部分配管线上之可调整接头而定位该角管,该直角通路与该可调整接头之间高度决定该角管与该相对的测量容器所接收的预定体积;提供一混合容器用以混合化学物质;提供一连接装置,提供流体流通于该主要来源、该测量容器与该混合容器之间;提供一导管连接该混合容器与至少一个下游设备;及其中藉由驱动该化学物质由不同的主要来源进入该测量容器与该角管,直到该化学物质高度到达该预定体积,于此点任何超过该预定体积之流体将藉由重力流动经由该第二手臂出口流出,直到流体高度停在接近该直角通路底部。9.如申请专利范围第8项所述之方法,其中提供流体流通于该主要来源与该测量容器之间之连接装置包含第一及第二主要入口管线。10.一种提供于化学机械研磨(CMP)制程中由主要来源至使用端之间混合、转移及传送化学物质之设备,用以减少研磨浆微粒凝结,该设备至少包含:至少一个测量容器,用以由该主要来源接收一预定体积之化学物质;一可摇动角管,包含第一及第二手臂彼此呈垂直,用以形成直角通路,其间该可摇动角管系透过该第一手臂以枢轴方式连接于接近每一该测量容器底部之可调整接头而定位该可摇动角管,该直角通路与该可调整接头之间高度决定该可摇动角管与该相对的测量容器所接收的预定体积;一混合容器,用以混合化学物质;一主要入口管线,提供流体流通于该主要来源与该测量容器之间;一分配管线,提供流体流通于该测量容器与该混合容器之间;一短容器插置于复数个小尺寸容器顶端,由该混合容器传送之化学物质储存于该复数个小尺寸容器,该短容器透过复数个分配管线与每一小尺寸容器连接,如此乾燥的研磨浆微粒堆积问题将只发生于该短容器顶端,而非在每一小尺寸容器中;及其中该化学物质系透过阀门控制气压由该小尺寸容器驱动至使用端。11.如申请专利范围第10项所述之提供于化学机械研磨(CMP)制程中混合、转移及传送化学物质用以减少研磨浆微粒凝结之设备,其中更包含一岐管位于该混合容器与该小尺寸容器之间,用以由该混合容器均匀地分配该化学物质至每一小尺寸容器。12.一种提供于化学机械研磨(CMP)制程中由主要来源至使用端之间混合、转移及传送化学物质之设备,用以减少研磨浆微力凝结,该设备至少包含:至少一个测量容器,用以由该主要来源接收一预定体积之化学物质;一角管,包含第一及第二手臂彼此呈垂直,用以形成直角通路,其间该第一手臂具有一连接装置设置于该第一手臂底部,该角管系透过该第一手臂之该连接装置以枢轴方式连接于每一该测量容器底部分配管线上之可调整接头而定位该角管,该直角通路与该可调整接头之间高度决定该角管与该相对的测量容器所接收的预定体积;一混合容器,具有一沈浸式管线于该容器中用以促进化学物质混合;一连接装置,提供流体流通于该主要来源、该测量容器与该混合容器之间;一短容器插置于复数个小尺寸容器顶端,由该混合容器传送之化学物质储存于该复数个小尺寸容器,该短容器透过复数个分配管线与每一小尺寸容器连接,如此乾燥的研磨浆微粒堆积问题将只发生于该短容器顶端,而非在每一小尺寸容器中;及其中该化学物质系透过阀门控制气压由该小尺寸容器驱动至使用端。13.一种提供于化学机械研磨(CMP)制程中由主要来源至使用端之间转移及传送化学物质之设备,用以减少研磨浆微力凝结,该设备至少包含:一来源容器,用以提供化学物质供化学机械研磨(CMP)制程使用,一短容器插至于复数个小尺寸容器顶端,由混合容器传送之化学物质储存于该复数个小尺寸容器,该短容器透过复数个分配管线与每一小尺寸容器连接,如此乾燥的研磨浆微粒堆积问题将只发生于该短容器顶端,而非在每一小尺寸容器中;及其中该化学物质系透过阀门控制气压由该小尺寸容器驱动至使用端。14.如申请专利范围第11项所述之提供于化学机械研磨(CMP)制程中转移及传送化学物质用以减少研磨浆微粒凝结之设备,其中更包含一岐管位于该混合容器与该小尺寸容器之间,用以由该混合容器均匀地分配该化学物质至每一小尺寸容器。图式简单说明:第一图为本发明之概要图式,说明本发明第一实施例之储存容器。第二图为本发明之概要图式,说明本发明第二实施例之储存容器用于CMP化学物质传送,其在本发明之储存容器部分系利用多个内部连接之储存容器。第三图为本发明一详细图式,说明一测量容器具有一可摇动角管。第四图为本发明一详细图式,说明用于储存容器连接管之感应振动器(感应器加振动器)。第五图为本发明第三实施例之概要图式,说明本发明合并一可移除的短管状容器在储存容器及回收容器上方,用以减少研磨浆凝结。第六图为本发明一详细图式,说明一测量容器具有另一种设计的可摇动角管。 |
