ADHESIVE TAPE JOINING METHOD AND ADHESIVE TAPE JOINING APPARATUS

摘要

링 프레임과 웨이퍼 사이에서 노출되는 점착 테이프의 부분에 부착 롤러를 통과시킬 때, 마운트 프레임의 웨이퍼 부분을 흡착 유지하는 웨이퍼 유지 테이블을 프레임 유지 테이블보다도 하방으로 하강시켜, 노출부의 점착 테이프를 비스듬한 하향 경사의 상태로 하여 점착 테이프를 마운트 프레임에 부착한다.