| 主权项 |
1.一种气体动态及静态浓度分析方法,包含下列步骤:通入一输入气体于一动态系统,且量测其浓度;通入一输入气体于一静态系统,且量测其浓度;计算该动态及静态系统所量测之浓度値之比例;及设计一动态系统感测器,依据该比例调整跨距値以使用于一静态系统之内。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该输入气体系预先经由气体流量及气体浓度之比较分析,而选择具有特定气体浓度之最小气体流量値。3.如申请专利范围第1项之方法,其中在量测该静态系统之浓度时系包含以下步骤:抽真空;通入一输入气体,且使该静态系统内之压力略大于一大气压;降低该输入气体之流量且将流出阀打开,使内外压力平衡;待浓度之读値稳定后,关掉进入阀及流出阀;及记录该浓度之读値。4.如申请专利范围第1项之方法,其中该动态系统感测器系直接由一集气罩接收气体流量而侦测出该气体之浓度。5.一种气体动态及静态浓度分析装置,用于同时检测输入气体在动态系统及静态系统之浓度,包含:一控制阀,作为输入气体之控制开关;一静态系统之质量流量控制器,连接至该控制阀;一动态系统之质量流量控制器,连接至该控制阀;一静态系统感测器,连接至该静态系统之质量流量控制器,用于量测静态系统之浓度;及一动态系统感测器,连接至该动态系统之质量流量控制器,用于量测动态系统之浓度。6.如申请专利范围第5项之装置,其中该静态系统另包含一空气质量流量控制器及混合配置器,用于评估分析稀释后之气体配制系统线性度之特性。7.如申请专利范围第5项之装置,其中该输入气体包含至少一不同之浓度,用于评估感测器之线性度。图式简单说明:第一图系本发明之动态及静态分析之系统图。 |
