发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER AND PRODUCTION METHOD THEREOF AND SOI WAFER
摘要
申请公布号 KR20010081090(A) 申请公布日期 2001.08.25
申请号 KR1020017007829 申请日期 2001.06.20
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;C30B15/04 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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