| 摘要 |
<p>전계 방출 표시소자의 제조방법은, 준비된 캐소드 기판과 애노드 기판의 봉착 위치에 인듐 페이스트를 도포하는 단계와, 인듐 페이스트를 소성하여 페이스트 내부의 유기물질을 제거하는 단계와, 캐소드 기판과 애노드 기판을 챔버 내부에 장착하는 단계와, 챔버 내부를 고진공 및 고온 분위기로 형성하여 캐소드 기판과 애노드 기판을 밀착시킴과 동시에 배기시키는 단계와, 챔버 내부를 서냉시킨 후 진공을 해제하고, 봉착된 캐소드 기판과 애노드 기판을 챔버 외부로 인출하는 단계를 포함한다. 상기 인듐은 다른 금속에 비해 녹는점이 낮고, 용융시 가스 발생이 극히 적기 때문에 진공 챔버 내부에서 캐소드 기판과 애노드 기판을 접합시킬 봉착 재료로 적합하다. 이로서 잔류 기체 발생을 최소화하면서 진공 챔버 내부에서 효과적으로 봉착 과정을 수행하여 표시소자 내부의 진공도를 높일 수 있다.</p> |
