用可拉伸模具在基片上精密压制和对准结构的方法

摘要

一种用微结构模具在有图案基片上模压并对准微结构的方法。在拉伸模具微结构与有图案基片之间安置一种浆料,浆料含有陶瓷粉与可固化短效粘合剂组成的混合物。模具可拉伸,以将模具的微结构对准预定部分的有图案基片。浆料在模具与基片之间硬化,然后取下模具留下粘附于基片并对准基片图案的微结构。微结构经加热除去粘合剂,并优化烧结陶瓷粉。

主权项

1.一种在有图案基片上形成和对准微结构的方法，其特征在于所述工艺包括以下步骤：将包括固化材料的混合物放在有图案基片与模具图案表面之间，模具图案表面上有多个微结构；对模具进行拉伸，使一部分模具图案表面与一部分有图案基片对准；将固化材料固化成粘附于基片的刚性状态；和取下模具，留下与基片图案对准的混合物的硬化结构，所述硬化结构基本上复制了模具图案表面的微结构。