| 主权项 |
1.一种制造水不溶性,硷性水溶液可溶之酚醛清漆树脂之方法,其包括:a)于酸触媒存在下,使甲醛与一或多种酚性化合物缩合,并于缩合反应完成后将任何残留溶剂及未反应之酚性化合物移除;并分离出固态之酚醛清漆树脂;b)将该固态酚醛清漆树脂溶解于以酚醛清漆树脂之重量计为5到80%之水溶性有机极性溶剂中;c)添加以全部溶液之重量计为2到15%之水,于是形成沉淀物;移除残留液体,使沉淀物溶解于适当酚醛清漆树脂溶剂中,并移除残留水份,于是产生可成膜之酚醛清漆树脂分离份;d)添加更多水至步骤(c)之酚醛清漆树脂溶液中;重覆步骤(c)2到10次,以获得2到10份额外之酚醛清漆树脂分离份,于是获得经过分级分离之可成膜酚醛清漆树脂。2.如申请专利范围第1项之方法,其中水为去离子水。3.如申请专利范围第1项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。4.如申请专利范围第1项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为甲醇。5.一种制造正光阻组合物之方法,其包括:a)在酸触媒存在下,使甲醛与一或多种酚性化合物缩合,并于综合反应完成后将任何残留溶剂及未反应之酚性化合物移除,并分离出固态酚醛渍漆树脂;b)将该固态酚醛清漆树脂溶解于以酚醛清漆树脂之重量计为5到80%之水溶性有机极性溶剂中;c)添加以全部溶液之重量计为2到15%之水,于是形成沉淀物;移除残留液体,使沉淀物溶解于适当酚醛清漆树脂溶剂中,并移除残留水份,于是产生可成膜之酚醛渍漆树脂分离份;d)添加更多水份至步骤(c)之酚醛清漆树脂溶液中,重覆步骤(c)2到10次,以获得2到10份额外之酚醛清漆树脂分离份,于是获得经过分级分离之可成膜酚醛清漆树脂;e)提供一种混合物,其具有:1)一种光敏性成份,其量足以使光阻组合物光敏化;2)自步骤(d)所得之可成膜酚醛清漆树脂;以及3)一种适当光阻溶剂,于是形成光阻组合物。6.如申请专利范围第5项之方法,其中水为去离子水。7.如申请专利范围第5项之方法,其中该酚醛清漆树脂溶剂与光阻溶剂各包括丙二醇甲基醚醋酸酯、2-庚酮、乳酸乙酯或3-乙氧丙酸乙酯。8.如申请专利范围第5项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。9.如申请专利范围第5项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为甲醇。10.一种藉由在适当基板上产生光影像以制造半导体装置之方法,其包括:a)在酸触媒存在下,使甲醛与一或多种酚性化合物缩合,并于缩合反应完成后将任何残留溶剂及未反应之酚性化合物移除,并分离出固态酚醛清漆树脂;b)将该固态酚醛清渍漆树脂溶解于以酚醛渍漆树脂之重量计为5到80%之水溶性有机极性溶剂中;c)添加以全部溶液之重量计为2到15%之水,于是形成沉淀物;移除残留液体,将沉淀物溶解于适当酚醛清漆树脂溶剂中,并移除残留水份,于是产生可成膜之酚醛清漆树脂分离份;d)添加更多水至步骤(c)之酚醛清漆树脂溶液中;重覆步骤(c)2到10次,以获得2到10份额外之酚醛渍漆树脂分离份,于是获得经过分级分离之可成膜酚醛清漆树脂;e)提供一种混合物,其具有:1)一种光敏性成份,其是足以使光阻组合物光敏性;2)自步骤(d)所得之可成膜酚醛清漆树脂;以及3)一种适当光阻溶剂,于是产生光阻组合物;f)以步骤(e)之光阻组合物涂覆适当基板;g)热处理步骤(f)之经涂覆基板,直到实质上所有光阻溶剂已被移除为止,使光敏组合物进行成像曝光,并利用适当显影剂移除此种组合物之成像曝光区域,亦可视情况在除步骤之前或之后立即进行基板之烘烤。11.如申请专利范围第10项之方法,其中水为去离子水。12.如申请专利范围第10项之方法,其中该酚醛清漆树脂与光阻溶剂各包含丙二醇甲基醚醋酸酯、2-庚酮、乳酸乙酯或3-二氧丙酸乙酯。13.如申请专利范围第10项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。14.如申请专利范围第10项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为甲醇。 |
