X射线Talbot干涉仪和X射线Talbot干涉仪系统

摘要

本发明涉及一种X射线Talbot干涉仪，该X射线Talbot干涉仪包括：包括多个X射线透射部分的源光栅，被配置为允许来自X射线源的X射线中的一些通过；具有周期性结构的分束器光栅，被配置为通过使用所述周期性结构使来自所述X射线透射部分的X射线衍射以形成干涉图案；以及X射线检测器，被配置为检测来自所述分束器光栅的X射线。所述分束器光栅使来自所述多个X射线透射部分中的每个X射线透射部分的X射线衍射以形成各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案。所述多个X射线透射部分被布置为使得各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案相互叠加以增强通过所述干涉图案的调制而生成的边带中的空间频率分量。

主权项

一种X射线Talbot干涉仪，该X射线Talbot干涉仪包括：包括多个X射线透射部分的源光栅，被配置为允许来自X射线源的X射线中的一些通过；具有周期性结构的分束器光栅，被配置为通过使用所述周期性结构使来自所述X射线透射部分的X射线衍射以形成干涉图案；以及X射线检测器，被配置为检测来自所述分束器光栅的X射线，其中，所述分束器光栅通过使用所述周期性结构使来自所述多个X射线透射部分中的每个X射线透射部分的X射线衍射以形成各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案，其中，所述多个X射线透射部分被布置为使得各自与所述多个X射线透射部分之一对应的干涉图案相互叠加以增强特定的空间频率分量，并且其中，所述特定的空间频率分量是通过样品对特定于所述干涉图案的空间频率分量的调制而产生的边带中的空间频率分量。