| 主权项 |
1.一种自动量测下电极水平度装置,装载于一蚀刻装置,该蚀刻装置具有一上电极、一下电极、一传动装置,其中下电极用以承载一晶圆,并位于该上电极下面,传动装置连接该下电极,用以控制该下电极上下移动,使该上电极与下电极维持一最佳距离,并具有一支持盖位于传动装置上方,与该下电极产生相同的移动运作,以及一底座固定于该传动装置之底部,该自动量测水平间隙装置包括:复数个接收感测器,安置于该支持盖下面;复数个发射感测器,安置于该底座上面,与该些接收感测器数量相同并配置于相对应的位置,用以量测该支持盖与该底座之距离,以产生对应的复数个间隙数値;以及一电脑监控器,用以接收该些间隙数値后进行比较显示,让一使用者判断该下电极之一水平间隙是否位于一可接受范围内。2.如申请专利范围第1项所述之自动量测下电极水平度装置,其中该些发起感测器与该些接收感测器之数量皆为三个。3.如申请专利范围第1项所述之自动量测下电极水平度装置,其中该可接受范围系为0.1mm。图式简单说明:第1图绘示习知典型电浆蚀刻设备之组合示意图;第2图绘示习知量测模具量测上下电极间隙値之前视图;第3图绘示于第2图II-II断面之上视图;第4图绘示习知电浆蚀刻设备传动单元之部分示意图;第5图绘示依照本发明之自动量测下电极水平度装置与传动装置的部分结构示意图;第6图绘示依照本发明之自动量测下电极水平度装置操作之流程图。 |
