| 主权项 |
1.一种载入端门介面,其适于在穿透过一隔板的一端门处固定至位于一处理环境与一作业员环境间之该隔板,该载入端门介面包含:一端门锁合总成,其当配置于一第一定向时可供该作业员环境中之作业员进行下列作用:--将承载一晶圆堆积W的一匣沉积在该端门锁合总成上;及--从该端门锁合总成移出承载一晶圆堆积W之一匣;及当配置于一第二定向位置时,该匣在处理环境中承载该晶圆堆积W,并密封该隔板,故使该处理环境与该作业员环境相分离;及湿润装置,用以当该端门锁合总成配置于该第二定相时将液滴引导至一晶圆堆积W周围。2.如申请专利范围第1项之载入端门介面,其中该湿润装置包括多数喷嘴,多数喷嘴将一液滴喷雾引导至该晶圆堆积W周围。3.如申请专利范围第1项之载入端门介面,其中该湿润装置包括一超音波湿化器,超音波湿化器将一雾团液滴引导至该晶圆堆积W周围。4.如申请专利范围第1项之载入端门介面,其中该端门锁合总成包括当该端门锁合总成配置于该第一定向与该第二定向中时用于密封在该端门锁合总成与该隔板之间的密封。5.如申请专利范围第1项之载入端门介面,进一步包含从该隔板往外突之至少一对的喷雾护板,故在该作业员环境中则变成配置于其间。6.如申请专利范围第1项之载入端门介面,其中该端门锁合总成包括相隔的前与后门片,前与后门片连接合并为一载入端门介面的一隔板所用之一盖,该后片中具有一窗口,一晶圆堆积W,与该窗口呈光学导通配置,及一晶圆检验单元,其与该门片相关并具有一束源及一束侦测器,该束经由该窗口相对于该检验单元通往及离开该晶圆堆积W。7.如申请专利范围第6项之载入端门介面,其中该晶圆堆积W为由该门的后片支撑之一匣中之一晶圆配置。8.如申请专利范围第7项之载入端门介面,其中该相隔的引导构件系建立该匣之一位置。9.如申请专利范围第6项之载入端门介面,其中安装该晶圆检验单元使之在至少一轨支撑并由一导螺杆驱动之一滑架上沿该晶圆堆积W而动作。10.如申请专利范围第9项之载入端门介面,其中该晶圆检验单元包含一束源及一光学侦测器。11.如申请专利范围第10项之载入端门介面,其中该晶圆检验单元包含一晶圆绘图仪单元。12.如申请专利范围第6项之载入端门介面,其进一步由一角框架连接至该端门锁合总成门片之一盖板所界定,该盖板的尺寸可在该端门锁合总成配置于该第一定向时将该端门密封在该隔板中。13.如申请专利范围第12项之载入端门介面,其中该盖板连接至该门片而形成一L型,其中具有一枢轴以使所连接的构件旋转,因此各该盖板与门片能够将该端门关在该载入端门介面中。14.如申请专利范围第13项之载入端门介面,其中该晶片匣与该晶圆绘图仪呈紧邻安装、并经由该隔板旋转通过该端门从该隔板一侧至另一侧。15.如申请专利范围第6项之载入端门介面,其中该晶圆检验单元安装在该门片之间。16.如申请专利范围第6项之载入端门介面,其中一可移式气刀系磁性耦合至该窗口的相对侧上之晶圆检验单元。17.一种用于一载入端门介面之门总成,包含,一端门盖板及一前门片,其呈一L型构造且由一框架所连接,安装该盖板与门片以旋转一角度,因此该端门盖板或该前门片系关闭一个穿透过该载入端门介面之端门,一开启的顶晶圆匣,其容纳一个受支撑而随该前门片移动之晶圆堆积,因此该前门片的旋转引起该晶圆匣的旋转,及一晶圆绘图仪单元,其连接至具有一束源之该前门片,该束源经由该晶圆匣的开启顶部与该前门片中的一窗口将一束导入该晶圆堆积,及一光侦测器,其用以接收从位在该晶圆堆积之晶圆返回之光线,该束源与光侦测器系安装在一个可与该晶圆堆积呈平行移动之滑车上。18.如申请专利范围第17项之用于一载入端门介面之门总成,其中该前门片系为一个将该滑车安装在平行线性构件上之箱形壳体。19.如申请专利范围第18项之用于一载入端门介面之门总成,其中一个该平行线性构件为一导螺杆。20.如申请专利范围第17项之用于一载入端门介面之门总成,其中该束源为一雷射。21.如申请专利范围第17项之用于一载入端门介面之门总成,其中该光侦测器为一用以侦测被位在该晶圆堆积之晶圆所散射的光线之散射光侦测器。22.如申请专利范围第18项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车系支撑一镜面装置,以摺叠该束在该源与该晶圆堆积间之路径。23.如申请专利范围第18项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车具有在耦合至该滑车的窗口相对侧上之一个可移式气刀。24.如申请专利范围第17项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车包括一感测器,其能够指示对于该滑车之一起点位置。25.如申请专利范围第17项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车包括一第二感测器,其能够指示对于该滑车之一停止位置。26.一种载入端门介面,包含,一个具有一窗口之隔板,其具有一处理侧及一作业员侧,该处理侧具有与该窗口相邻之一晶圆堆积,一晶圆检验单元,与邻近该处理侧上的窗口之该隔板相关,该检验单元具有一个可在该窗口上移动之滑车,该滑车系承载一束射极,该束射极将一束导过该窗口前往该晶圆堆积,且具有一束侦测器,该束侦测器的位置可侦测来自该束侦测器之光线,及一可移式气刀,系邻近该处理侧上之窗口,该气刀经由该窗口而磁性耦合至该滑车并可随该滑车移动。27.如申请专利范围第26项之载入端门介面,其中该隔板具有一门,且该晶圆检验单元系安装于该门内侧。28.一种载入端门介面结构,在一隔板中将一处理环境与一作业员环境相分离,包含,相隔的前与后门片,其连接合并成为在一载入端门介面的一隔板中之一盖,该后片中具有一窗口,一晶圆堆积,与该窗口呈光学导通配置,及一晶圆检验单元,与该门片相关且具有一束源与一束侦测器,该束经由该窗口相对于该检验单元通往并离开该晶圆堆积。29.如申请专利范围第28项之载入端门介面结构,其中该晶圆堆积为由该门的后片支撑之一匣中之一晶圆配置。30.如申请专利范围第29项之载入端门介面结构,其中该相隔的引导构件系建立该匣之一位置。31.如申请专利范围第28项之载入端门介面结构,其中安装该晶圆检验单元使之在至少一轨支撑并由一导螺杆驱动之一滑架上沿该晶圆堆积而动作。32.如申请专利范围第31项之载入端门介面结构,其中该晶圆检验单元包含一束源及一光学散射侦测器。33.如申请专利范围第32项之载入端门介面结构,其中该晶圆检验单元包含一晶圆绘图仪单元。34.如申请专利范围第28项之载入端门介面结构,其进一步由一角框架连接至该门片之一盖板所界定,该盖板的尺寸可将该端门密封在该隔板中。35.如申请专利范围第34项之载入端门介面结构,其中该盖板连接至该门片而形成一L型,其中具有一枢轴以使所连接的构件旋转,因此各该盖板与门片能够将该端门关在该载入端门介面中。36.如申请专利范围第35项之载入端门介面结构,其中该晶片匣与该晶圆绘图仪呈紧邻安装、并旋转通过该载入端门介面中的端门从该介面一侧至另一侧。37.如申请专利范围第28项之载入端门介面结构,其中该晶圆检验单元安装在该门片之间。38.如申请专利范围第28项之载入端门介面结构,其中一可移式气刀系磁性耦合至该窗口的相对侧上之晶圆检验单元。39.一种用于一载入端门介面之门总成,包含,一端门盖板及一前门片,其呈一L型构造配置且由一框架所连接,安装该盖板与门片以旋转一角度,因此该端门盖板或该前门片系关闭该载入端门介面之一端门,一开启的顶晶圆匣,其容纳一个受支撑而随该前门片移动之晶圆堆积,因此该前门片的旋转引起该晶圆匣的旋转,及一晶圆绘图仪单元,其连接至具有一束源之该前门片,该束源经由该晶圆匣的开启顶部与该前门片中的一窗口将一束导入该晶圆堆积,及一散射光侦测器,其用以接收自该晶圆堆积散射之光线,该束源与光侦测器系安装在一个可与该晶圆堆积呈平行移动之滑车上。40.如申请专利范围第39项之用于一载入端门介面之门总成,其中该前门片系为一个将该滑车安装在平行线性构件上之箱形壳体。41.如申请专利范围第40项之用于一载入端门介面之门总成,其中一个该平行线性构件为一导螺杆。42.如申请专利范围第39项之用于一载入端门介面之门总成,其中该束源为一雷射。43.如申请专利范围第39项之用于一载入端门介面之门总成,其中该光侦测器为一散射光侦测器。44.如申请专利范围第40项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车系支撑一镜面装置,以摺叠该束在该源与该晶圆堆积间之路径。45.如申请专利范围第40项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车具有在耦合至该滑车的窗口相对侧上之一可移式气刀。46.如申请专利范围第39项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车包括一感测器,其能够指示对于该滑车之一起点位置。47.如申请专利范围第39项之用于一载入端门介面之门总成,其中该滑车包括一第二感测器,其能够指示对于该滑车之一停止位置。48.一种载入端门介面结构,包含,一个具有一窗口之隔板,其具有一处理侧及一作业员侧,该处理侧具有与该窗口相邻之一晶圆堆积,一晶圆检验单元,与邻近该处理侧上的窗口之该隔板相关,该检验单元具有一个可在该窗口上移动之滑车,该滑车系承载一束射极,该束射极将一束导过该窗口前往该晶圆堆积,且具有一束侦测器,该束侦测器的位置可侦测来自该束侦测器之光线,及一可移式气刀,系邻近该处理侧上之窗口,该气刀经由该窗口而磁性耦合至该滑车并可随该滑车移动。49.如申请专利范围第48项之载入端门介面结构,其中该隔板具有一门,且该晶圆检验单元系安装于该门内侧。图式简单说明:第1图为本发明之一载入端门介面之侧视图,显示与一晶圆匣及一门相关之一晶圆绘图仪,该门位于介面的作业员侧上之一开启位置中;第2图为第1图的载入端门介面之侧视图,该门位于一部份关闭的位置中;第3图为第1图的载入端门介面之侧视图,该门位于一关闭位置中;第4图为第3图所示装置的后视图;第5图为第1图所示晶圆绘图仪之分解图;第6图为第5图所示晶圆绘图仪中所用之一滑车之后视图;第7图为第5图的晶圆绘图仪所用之一气刀从动总成之后视图;第8图为根据本发明用于探测一晶圆堆积中的晶圆之晶圆绘图仪的立体图,显示位于一上位置中之第6图的滑车;第9图为根据本发明用于探测一晶圆堆积中的晶圆之晶圆绘图仪的立体图,显示位于一下位置中之第6图的滑车;及第10图为将留在介面的处理测上之矽晶圆保持湿润之载入端门介面的立体图。 |
